Het Technisch Weekblad beschrijft de nieuwste cleanrooms van ASML en het bijbehorende bouwproces in het volgende artikel: Schoonste cleanroom ter wereld.
Zie ook de projectpresentatie productiegebouwen en kantoren – ASML Veldhoven
Technisch Weekblad: schoonste cleanroom ter wereld – ASML 5D
2012/07/28